文趣网 > 其他小说 > 反派大小姐竟然是科研大佬! > 第290章 你们的硼,不干净
    半导体研究所,晶体生长实验室。

    “顾总工,导热均衡层装上之后,连跑了几炉。”

    吴建华把数据纸往她面前一递,声音里压着股劲儿。

    “边缘微裂纹消失了,晶圆全过了外观检查。”

    顾昭昭接过数据纸,站在走廊里就翻。

    吴建华在旁边搓着手,跟等判卷的学生一个样。

    翻到第二页,目光在一列数字上停了两秒。

    翻到第三页,手指点在“位错密度”那一栏。

    “平均位错密度多少?”

    “三乘以十的三次方!”

    吴建华脱口而出。

    “比之前又降了半个数量级!”

    顾昭昭没接话。

    翻到最后一页——霍尔效应测试结果。

    载流子迁移率。

    数字列在纸上,黑白分明。

    她盯了三秒,合上数据纸。

    “吴所长,迁移率不达标。”

    吴建华的笑容凝在脸上。

    “你自己看。”

    顾昭昭把数据纸翻回最后一页,指尖点在第四列。

    “平均载流子迁移率,四千二百。军品级T/R组件的衬底要求,不低于五千。”

    吴建华一把抢过数据纸,眼镜差点从鼻梁上滑下来。

    “差了八百……”

    “差了百分之十六。”

    顾昭昭纠正他。

    “位错密度达标了,但迁移率上不去,说明问题不在晶体结构。”

    她推开实验室的铁门,直接走到液封直拉炉旁边。

    “废片在哪?”

    老周端过铝托盘。

    三片切好的废片搁在上面。

    顾昭昭拿起一片,没去用显微镜,直接对着头顶的白炽灯管调整角度。

    晶片表面泛起金属光泽。

    “不是炉子的问题。”

    她把晶片搁回托盘。

    “是材料。”

    吴建华站在旁边,温彻和两个研究员也凑了过来。

    温彻背着军用挎包,掏出笔记本,笔帽一拧。

    “液封直拉法,除了砷和镓,还有什么?”

    顾昭昭抬头问。

    吴建华反应过来了:“三氧化二硼液封剂?”

    “你们的硼,哪儿来的?”

    “京市化学试剂厂,分析纯级别,纯度标称99.98%。”

    顾昭昭蹲下去,看了一眼炉体侧面的密封段。站起来。

    “不够。”

    吴建华皱眉。

    “99.98%还不够?这已经是国内最高等级的分析纯了——”

    “分析纯的标称是总体金属杂质含量。”

    顾昭昭打断他,走到工作台前,拿起一支粉笔,在旁边的小黑板上写了三个字。

    “硅、碳、铁。”

    “这三种痕量杂质只要有任何一个超标,在上千度高温下就会扩散进砷化镓熔体。”

    她又在黑板上画了个坩埚截面简图,三笔勾完。

    吴建华盯着黑板,两只手插进裤兜又抽出来。

    “我搞了三十年半导体,一直用分析纯的硼,从没人提过这个。”

    “因为以前拉两英寸的,晶体小,生长时间短,杂质效应被掩盖了。”

    顾昭昭看着他。

    “三英寸,高温保持时间更久,杂质有足够的时间往晶格里钻。”

    “尺寸一大,所有以前可以忽略的细节全变成瓶颈。”

    吴建华沉默了十来秒。

    “那怎么办?国内有没有更高纯度的?”

    “没有,京市化学试剂厂的分析纯已经是天花板。进口渠道堵死了。”

    “所以——”

    “自己提纯。”

    顾昭昭从帆布包里掏出笔记本,翻到标记好的一页,拍在工作台上。

    “区域精炼法。”

    页面上画着工艺流程图,环节标注了具体数字。

    “五个九——99.999%?”

    老周脱口而出。

    “对。”

    吴建华看完流程图,抬起头。

    “上回坩埚热场,给了参数我让人直接改,三天搞定。但这个区域精炼——我手底下没人干过。”

    顾昭昭把笔记本合上。

    “所以我来了。”

    吴建华愣住。

    “我亲自做第一炉,你们的人在旁边看,看明白了,后面自己跑。”

    “你——做?”

    “有问题?”

    “没——没问题。”

    吴建华赶紧摇头,转身对着实验室吼了一嗓子。

    “老周!石英舟找出来!加热线圈备件有没有?”

    “有!”

    “全搬到三号操作间去!快!”

    ……

    半小时后。

    三号操作间。

    石英舟架好,环形加热线圈套在外面,硼棒料装好。

    顾昭昭洗了手,袖子挽到小臂,站在操作台前,动作极其老练。

    温彻守在右后方,笔记本摊开。

    吴建华带了四个学生来观摩。

    最年轻的姓何,研二,到课题组不到半年,挤在老周身后伸长脖子。

    另一个短发男生压低声音:“这谁啊?看着比我还小,怎么老吴跟个徒弟似的在旁边站着?”

    “闭嘴看。”

    老周回头斥了一句。

    顾昭昭打开加热电源。

    温控表数字跳动。

    “升温,恒温稳定五分钟后启动移动机构。”

    五分钟后。

    “启动。”

    她拨动开关,加热线圈沿着石英舟缓缓移动。

    “注意看熔区边界。固液界面要保持平整,出现凸起或凹陷,说明温度梯度有偏差,马上修正。”

    何同学踮脚看了半天,小声问:“界面怎么判断?”

    “看棒料表面光泽变化。”

    顾昭昭头都没回。

    “熔化部分透明,凝固部分半透明。分界线清不清楚,一眼就能看出来。”

    何同学闭上了嘴。

    加热线圈走到棒料中段,顾昭昭忽然伸手把移动速度微调了一格。

    “这里棒料截面直径稍大了零点几毫米,热量分布会偏。速度降一点,让熔区充分覆盖。”

    吴建华站在旁边,两只手背在身后,忍了四十分钟才开口。

    “棒料差零点几毫米,你肉眼怎么看出来的?”

    “不是肉眼。是熔区边界的亮度变化。截面大了,单位面积受热少,界面会微微发暗。”

    温彻在笔记本上飞速写下:“中段位置,因棒料截面微小差异,移速降低补偿。”

    吴建华不说话了。

    第一遍结束。顾昭昭切掉末端杂质富集段,重新装舟。

    第二遍、第三遍,同样步骤,不同位置做了不同微调。温彻每一个数字一个不漏全部记下。

    第三遍结束。

    棒料从灰白色变成了近乎透明。

    顾昭昭摘下手套。

    “取样检测。”

    老周捧着样品跑向检测室。

    二十分钟后,老周跑回来,手里捏着光谱分析报告。

    “硅——低于百万分之零点三!碳——低于百万分之零点五!铁——未检出!”

    “总纯度——99.9993%!”

    老周的声音都劈了岔。

    吴建华一把抢过报告看了三遍。

    五个九,还多出来一点。

    他把报告放下,看向顾昭昭。

    “下一炉砷化镓,用这批硼做液封,迁移率——”

    “跑完就知道。”

    顾昭昭拎起帆布包。

    何同学站在后面,嘴巴微张,手里的笔记本翻到空白页,一个字都没写——整个人看傻了。

    其余几个研究生全是这副模样。

    平时做区熔,调速全凭经验和书本上的死公式。

    这位不翻书,不用计算器,脑子里直接调出最优解,连棒料截面零点几毫米的差异都能从亮度读出来。

    吴建华跟到水槽边。

    顾昭昭拧开水龙头洗手,温彻递过来一条干净毛巾。

    她擦干手,把毛巾搁在一旁。

    吴建华从兜里掏出一盒烟,没点,想起一件事。

    “对了,顾总工,有件小事跟你提一嘴。水木大学有个叫陈维明的教授,十月份有个华美材料科学研讨会,他在筹备组。”

    “前几天打了好几通电话,非要拉我们所派人去参加,说美方有重量级学者来,想让咱们拿点成果出去交流交流。”

    温彻在旁边抬起头。

    任何主动靠上来的接触,在他耳朵里都带着警报声。

    “你答应了?”

    顾昭昭问。

    “答应个屁。”

    吴建华哼了一声。

    “我跟老陈说工期紧,技术总负责人脾气大得很,我不敢触霉头。”

    “推干净就行。”

    顾昭昭背上帆布包往门外走。

    “陈维明”这三个字在她脑子里连半秒都没停留。

    温彻落后两步,面上不动声色,把这个名字牢牢记在脑子里。

    回去得立刻把这个名字报给江队。

    “温彻,参数笔记整理三份,今晚之前交给吴所长。”

    “是!”